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  8865SC13美國bird精密射頻負載傳感器大限度地提高工藝的重復性和一致性,現(xiàn)代等離子體應用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。射頻發(fā)生器的校準、調(diào)節(jié)和監(jiān)控是確保射頻電源準確、可重復地向腔室輸送射頻電源的關(guān)鍵組成部分。當使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時,VSWR目前提供超穩(wěn)定、低VSWR負載,用于快速和精確地測量發(fā)電機輸出功率。8865SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準時間不同,沒有必要進行負載熱身或重復性風險。這可以最小化與此校準相關(guān)的錯誤,并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。代購美國bird精密射頻負載傳感器。

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